웨이퍼UV테잎 조사기
컴팩트, 사용이 간단한 웨이퍼용 UV조사기로 다이싱 테이프용도의 UV LED조사기 입니다.
웨이퍼 다이싱 후 접착강도 저하용으로 최적합니다.
볼륨 Coarse와 Fine 2개의 볼륨으로 강도 조절 가능.
경보램프 Disconnect: 조사기의 단선경보입니다/ Temp: 조사부의 온도경보 입니다.
타이머 타이머 설정에 따른 UV 조사시간을 조정합니다.
경보램프 조작감 있는 기계식을 채용하여 잘못된 조작으로 인한 오작동을 방지합니다.
N2 Purge 유량계 UV수지의 경화를 방지하기 위해 N2퍼지 기구를 표준 탑재하였습니다.
제품사양
| 항목 | 설명 |
|---|---|
| 형명 | MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.1 |
| 조사기 | UV-LED |
| 조도 | 20mW(조도는 커스터마이징 가능) |
| 주파장 | 365nm(다른 파장대는 문의하여 주시기바랍니다) |
| 웨이퍼 사이즈 | 다이싱 프레임 8인치에 대응 (6인치 스테이지로 교환가능)최대 사이즈 12인치 |
| 외형치수 | W350mm x H185mm x D550mm |
| 무게 | 약20kg |
| N2가스 | 1~10NL/min |
