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웨이퍼 UV 테잎조사기

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웨이퍼UV테잎 조사기 

컴팩트, 사용이 간단한 웨이퍼용 UV조사기로 다이싱 테이프용도의 UV LED조사기 입니다.
웨이퍼 다이싱 후 접착강도 저하용으로 최적합니다.

 

uv_wafer_process

 

 

  볼륨          Coarse와 Fine 2개의 볼륨으로 강도 조절 가능.

  경보램프  Disconnect: 조사기의 단선경보입니다/ Temp: 조사부의 온도경보 입니다.

 

 

uv_02

 

   타이머     타이머 설정에 따른 UV 조사시간을 조정합니다.

   경보램프  조작감 있는 기계식을 채용하여 잘못된 조작으로 인한 오작동을 방지합니다.

 

 

uv_03

 

  N2 Purge 유량계   UV수지의 경화를 방지하기 위해 N2퍼지 기구를 표준 탑재하였습니다.

 

 

 

제품사양 

항목설명
형명MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.1
조사기UV-LED
조도20mW(조도는 커스터마이징 가능)
주파장 365nm(다른 파장대는 문의하여 주시기바랍니다)
웨이퍼 사이즈 다이싱 프레임 8인치에 대응 (6인치 스테이지로
교환가능)최대 사이즈 12인치
외형치수 W350mm x H185mm x D550mm
무게약20kg
N2가스 1~10NL/min